近日,2023年度河南省科学技术奖励名单公布,由、中国恩菲和中南大学共同完成的“超高纯硅基电子材料制备关键技术及应用”项目被授予2023年度河南省科学技术进步奖一等奖。
此次河南省科学技术奖共授予河南省科学技术进步奖288项,其中一等奖30项、二等奖150项、三等奖108项。河南省科技进步一等奖是省人民政府颁发的最高科技奖项,主要奖励在技术发明、技术开发、重大工程建设等自主创新工作中取得显著经济效益或者社会效益的科技成果。
近年来,中硅高科聚焦集成电路“卡脖子”材料,大力推进创新发展战略,通过搭建“自主创新 合作开发”的复合型创新体系,形成区熔级多晶硅、硅基电子特气、硅基功能材料三大产品集群,在硅基电子材料领域已获省部级以上科技进步奖9项。该奖项的获得,进一步巩固了中硅高科在关键技术领域的领先地位,为建成“具有国际影响力的基础材料技术策源地”提供了有力支撑。